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渦輪分子泵HiPace 1200-2300 系列

  • 產品型號:
  • 更新時間:2023-03-13

簡要描述:普發分子泵 HiPace 1200-2300系列渦輪分子泵可以倒裝安裝,經過實踐證明的軸承技術確保了其的可靠性。成熟精湛的轉子設計使其具有更出色的抽速,更好的前級泵兼容性和更大的氣流量,對于小分子氣體具有更高的壓縮比。集成可靠的智能傳感器系統,HiPace系統當仁不讓的成為市場上安全性能非常好的產品。

產品詳情

普發分子泵 HiPace   1200-2300系列渦輪分子泵可以倒裝安裝,經過實踐證明的軸承技術確保了其的可靠性。成熟精湛的轉子設計使其具有更出色的抽速,更好的前級泵兼容性和更大的氣流量,對于小分子氣體具有更高的壓縮比。集成可靠的智能傳感器系統,HiPace系統當仁不讓的成為市場上安全性能非常好的產品。

 普發分子泵 產品優勢:

 從1000-2000L/S提供四個抽速等級

 對于小分子量氣體(H2 He),和大分子量氣體(Ar、CF4)都有很高的抽速

   即便對大分子量氣體(Ar,CF4)也有很高的氣流量

    安裝角度可選0°-90°和90°-180°

   有抗腐蝕性氣體型號可選(C型號)

   帶節流閥和閥門的集成凈化氣體系統

   電壓范圍:90-265V

   界面接口:RS-485,遠程控制;Profibus和DeviceNet可選

   獲得SEMI S2,UL,CSA和TUV認證

   防護等級IP54符合工業環境應用要求

   最大可能的符合各種工藝流程,能夠忍受顆粒物

   普發分子泵應用領域:

                   半導體

                   真空爐

                   質樸分析

                   鍍膜、研發

                   工業檢漏

            

           普發分子泵 系列型號: 
 

                  HiPace 1200

                  HiPace   1500
                  HiPace   1800
                  HiPace   2300

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